十二五中國將重點發展光伏生產專用設備：支持還原、氫化等多晶硅生產設備，大尺寸、低能耗、全自動單晶爐，噸級多晶硅鑄錠爐，大尺寸、超薄硅片多線切割機，硅片自動分選機等關鍵生產設備。支持多槽制絨清洗設備、全自動平板式等離子體增強化學汽相沉積(PECVD)、激光刻蝕機、干法刻蝕機、離子注入機、全自動印刷機、快速燒結爐等晶硅太陽能電池片生產線設備和PECVD等薄膜光伏電池生產設備。促進光伏生產裝備的低能耗、高效率、自動化和生產工藝一體化。