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國(guó)產(chǎn)高純碳素?zé)釄?chǎng)在半導(dǎo)體太陽(yáng)能硅晶體生長(zhǎng)領(lǐng)域應(yīng)用

提要:國(guó)產(chǎn)高純碳素?zé)釄?chǎng)材料通過集成創(chuàng)新,在單晶硅生長(zhǎng)爐、多晶硅鑄錠爐、氫化爐等多個(gè)領(lǐng)域獲得成功的應(yīng)用。成功地替代了進(jìn)口石墨材料及其產(chǎn)品,成功地實(shí)現(xiàn)硅晶體生長(zhǎng)熱場(chǎng)材料的更新?lián)Q代。 Abstract: Through integrated innovation domestic high-purit
技術(shù)創(chuàng)新能力

 

核心技術(shù)開發(fā)創(chuàng)新有產(chǎn)品、設(shè)備、工藝開發(fā)等多個(gè)方面。

 

氫化爐加熱器開發(fā)成功。氫化爐加熱器是世界性難題。形狀為U形帶狀,零件截面積小,只有幾個(gè)平方厘米,長(zhǎng)度卻達(dá)到4M;使用條件苛刻;處于尾氣處理閉環(huán)系統(tǒng)中,卻要持續(xù)在一千多度的高溫下工作,它是造成閉環(huán)系統(tǒng)停產(chǎn)的最敏感因素。U形加熱器的使用可靠性對(duì)多晶硅的生產(chǎn)成本的影響很大。20086月份開始組織科技攻關(guān),動(dòng)員全體員工認(rèn)真研究產(chǎn)品的損壞機(jī)理、研究這個(gè)產(chǎn)品使用條件、氣氛對(duì)材料的作用,總結(jié)經(jīng)驗(yàn)和教訓(xùn),對(duì)制造工藝進(jìn)行了大調(diào)整,制造成功加熱器,在成功控制幾何形狀、尺寸、表面光潔度的同時(shí),材質(zhì)密度高于技術(shù)要求,機(jī)械性能、點(diǎn)性能滿足要求,對(duì)表面做了有效防護(hù),獲得客戶的好評(píng),使用考核效果完全能夠取代國(guó)外產(chǎn)品。

 

開發(fā)的470澆鑄爐坩堝蓋板及其他大尺寸碳-碳復(fù)合材料板材,材料的密度與強(qiáng)度符合使用要求,獲得了工業(yè)驗(yàn)證。多晶澆鑄爐的螺釘螺栓消耗很大。客戶反映所使用進(jìn)口的螺栓使用壽命短。對(duì)其材料進(jìn)行分析,發(fā)現(xiàn)纖維含量很低,機(jī)械性能自然接近石墨材料。公司開發(fā)了高纖維含量的螺釘螺栓坯體材料,大大提高了螺釘螺栓的使用性能

 

公司為適應(yīng)單晶爐的大型化趨勢(shì)及硅晶體大型化形勢(shì)的需要,開發(fā)了多種大型單晶爐熱場(chǎng)系統(tǒng)。全碳-碳復(fù)合材料18的熱場(chǎng)系統(tǒng)在2006年通過工業(yè)性使用考核。系統(tǒng)成晶條件好,成晶區(qū)域?qū)垼粺o放氣現(xiàn)象,煅燒時(shí)間短,成材率高,節(jié)能;密度梯度材料制成的整體導(dǎo)流筒、大蓋板一體性好,可靠性高,碳-碳復(fù)合材料加熱器減輕了重量,機(jī)械強(qiáng)度則大幅度提高;整個(gè)熱場(chǎng)系統(tǒng)操作方便,使用壽命長(zhǎng),使用可靠性大大提高。在這個(gè)基礎(chǔ)上,先后有開發(fā)了20"、22"、24"英寸的熱系統(tǒng)。為上海、天津等計(jì)價(jià)公司提供了大型熱場(chǎng)零部件;上海丹克40臺(tái)設(shè)備上應(yīng)用本公司產(chǎn)品,月節(jié)電40萬度。節(jié)能減排效果很明顯。

 

公司推出的整體式多晶澆鑄爐的碳-碳復(fù)合材料加熱器、整體式低密度固化保溫氈等全套熱場(chǎng)系統(tǒng),在益陽(yáng)晶鑫、天津希力斯、天津軍凱獲得很好的使用效果

 

 

6. 公司的產(chǎn)能

 

公司的碳-碳復(fù)合材料生產(chǎn)關(guān)鍵設(shè)備全部是自主設(shè)計(jì),委托廠家加工,設(shè)備的核心部件由自己制造,自己總成。立式真空電阻加熱爐恒溫區(qū)直徑1.45m,高度達(dá)到2m;臥式爐恒溫區(qū)尺寸2.3M×1.6M×0.8M;設(shè)備使用了大量的大尺寸CC復(fù)合材料加熱器和大量的固化保溫板,設(shè)備的使用性能優(yōu)異

,多溫區(qū)段電匹配性能很好,節(jié)能。大型臥式化學(xué)氣相沉積爐是一套嶄新的設(shè)備,具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),是碳-碳復(fù)合材料裝備的一大創(chuàng)舉。該設(shè)備的試制成功,大大擴(kuò)大了公司的產(chǎn)能和產(chǎn)品譜系。制造新型碳材料產(chǎn)品的近凈成形工藝,為低成本、節(jié)能節(jié)材新產(chǎn)品開發(fā)提供了強(qiáng)有力的保障。公司有能力面對(duì)廣闊和多變的市場(chǎng)。坯體制造、熱加工、冷加工生產(chǎn)線運(yùn)行可靠,具備批量生產(chǎn)的能力。

 

 

7. 公司的管理

 

公司加強(qiáng)法人治理結(jié)構(gòu),健全組織機(jī)構(gòu),加強(qiáng)了財(cái)務(wù)管理,營(yíng)銷管理、生產(chǎn)管理、技術(shù)管理、質(zhì)量管理。公司重視質(zhì)量管理體系建設(shè),20095月獲得9001質(zhì)量認(rèn)證工作。產(chǎn)品的質(zhì)量檢驗(yàn)和質(zhì)量控制程序順暢,員工的質(zhì)量意識(shí)有所提高。

 

企業(yè)要眼于客戶的要求,堅(jiān)信利他是價(jià)值的源泉。

 

公司靠核心技術(shù)創(chuàng)新能力,靠?jī)?yōu)質(zhì)的產(chǎn)品、超前的技術(shù)和優(yōu)質(zhì)服務(wù)獲得客戶的認(rèn)同,實(shí)現(xiàn)了企業(yè)的產(chǎn)品價(jià)值,組織價(jià)值和組織價(jià)值。

 

第一,為保護(hù)有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品,公司申請(qǐng)注冊(cè)商標(biāo),國(guó)家商標(biāo)局已經(jīng)受理,公司申請(qǐng)的商標(biāo)已經(jīng)可以有效使用。公司擁有8個(gè)專利,還有多項(xiàng)專利正在申報(bào)過程中。

 

第二,積極申報(bào)《碳/碳復(fù)合熱場(chǎng)材料產(chǎn)業(yè)化示范工程專項(xiàng)》項(xiàng)目。200921國(guó)家發(fā)展和改革委員會(huì)辦公廳已正式發(fā)文確定碳/碳復(fù)合熱場(chǎng)材料產(chǎn)業(yè)化專項(xiàng)項(xiàng)目列入國(guó)家高技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展項(xiàng)目計(jì)劃及國(guó)家資金補(bǔ)助計(jì)劃。

 

第三,公司的部分熱場(chǎng)產(chǎn)品,列為國(guó)家重點(diǎn)新產(chǎn)品;

 

第四,公司2008年獲得長(zhǎng)沙市科技局科技支撐計(jì)劃重點(diǎn)支持;獲得湖南省科技廳的科技支撐計(jì)劃的支持;獲得長(zhǎng)沙市發(fā)改委的重點(diǎn)支持…..

 

 

8.  結(jié)束語(yǔ)

 

公司致力于中國(guó)創(chuàng)造,通過材料、技術(shù)、設(shè)備、工藝、產(chǎn)品、服務(wù)的集成創(chuàng)新,創(chuàng)造性地將技術(shù)轉(zhuǎn)化為高科技新產(chǎn)品、轉(zhuǎn)化為社會(huì)價(jià)值和經(jīng)濟(jì)價(jià)值。公司瞄準(zhǔn)未來產(chǎn)業(yè)發(fā)展的制高點(diǎn),努力建設(shè)創(chuàng)新型企業(yè)圍繞建設(shè)資源節(jié)約型、環(huán)境友好型的偉大目標(biāo),為推進(jìn)半導(dǎo)體、太陽(yáng)能硅晶體生長(zhǎng)石墨碳素材料的國(guó)產(chǎn)化和產(chǎn)品的更新?lián)Q代,創(chuàng)新、進(jìn)取,為解決我國(guó)資源不足,生態(tài)環(huán)境脆弱、經(jīng)濟(jì)對(duì)外依存度高的一系列難題,立足本職,著眼未來,不斷開辟新的發(fā)展空間,為中華民族的復(fù)興作出應(yīng)有的貢獻(xiàn)。

 

 

 



作者:蔣建純 來源: 責(zé)任編輯:admin

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